高唐县积极布局芯片制造产业

5月30日，山东联盛电子设备有限公司无尘生产车间内，工人在调试硅片晶圆清洗机。该公司位于高唐经济开发区，是目前全省最大的湿制程设备制造商，是中芯国际、华润微电子等企业的供应商。

该公司的硅片清洗机制造项目是2023年全市重点项目，总投资1.1亿元。“公司自主研发生产的全自动晶圆腐蚀机打破了进口垄断，并已获相关发明专利。”山东联盛电子设备有限公司办公室主任王如彬介绍，“这种全自动晶圆腐蚀机，不仅摆臂速度快、效率高、性能稳定，还降低了清洗过程中的人为污染，提升了晶圆的良品率。”

在芯片制造总工序中，清洗步骤占比30%以上。半导体清洗技术可分为湿法和干法两种，湿法清洗是目前的主流技术路线，占芯片制造清洗步骤数量的90%以上。随着科技的不断进步，晶圆清洗设备将越来越趋向智能化发展，山东联盛电子设备有限公司目前已攻克12英寸晶圆单片刻蚀清洗核心部件技术。

“目前，公司年产能300多台，产值5300万元。下半年，公司将迁至高唐县创业示范园区，届时年产能将达500台，产值将超8000万元。”王如彬说。

今年3月31日，中关村高科技企业助力高唐高质量发展恳谈会暨新一代信息技术产业招商推介会在高唐召开，12个项目现场签约。目前，高唐县着力实施新一代电子信息技术产业攀登计划，瞄准产业数字化、数字产业化，大力推广应用新一代信息技术，加快培育新质生产力。  

（记者 马永伟） 

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